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2010年2月 - SPIE Advanced Lithography 2010に出展

TOOL社は、米国San Joseで開催されます「SPIE Advanced Lithography 2010」に、レイアウト表示プラットフォーム「LAVIS」を出展いたします。超高速ビューアとしてのみならず、OPCデータの重ね合わせ表示やDensityMap表示機能を搭載し、リソシミュレータやCD測長装置とのインテグレーションも容易なLAVISを利用した効果的な視覚検証をご紹介します。

また、OASISデータ環境へのスムーズな移行を実現する「OASIS-Utility」も合わせてご紹介します。

          • 会 期
      2010年2月21(日) ~ 25日(木)                  spie2009
          • 展示会会期
      2010年2月23日(火)10:00 ~ 17:00
      2010年2月24日(水)10:00 ~ 16:00
          • 会 場
      San Jose Convention Center
      ブース番号:117