米国カリフォルニア州パロアルト、東京(2009年8月5日)— CLI（Computational Lithography and Inspection）ソリューションを世界の半導体市場に提供しているLuminescent Technologies社（本社：カリフォルニア州パロアルト、以下 Luminescent）と、EDAツールベンダーのTOOL株式会社（本社：東京都目黒区、代表取締役社長 本垰秀昭、以下 TOOL）は本日、TOOLのレイアウト表示技術を統合したLuminescentのInverse Explorer(TM)およびInverse Synthesizer(TM)プラットフォームの出荷を開始したことを発表いたします。本製品は、台湾・韓国の大手ファウンドリおよびDRAMメーカーに最初に納入されました。特に、それぞれの技術を組み込んだ LVIEW(TM) は、リソグラフィ技術の開発や量産適用の際に、最先端コンピュテーショナル・ソリューションの結果を高精度かつ高速に表示するツールとして有用です。

Luminescentのコンピュテーショナルリソグラフィ技術は、32nm以降の超微細化プロセスにおいて、意図する設計パターンをウェファー上へ忠実に再現させることを可能にします。これまで、大規模かつ複雑化したパターンの忠実な表示は大きな課題となっていましたが、大規模マスクパターンデータおよびリソグラフィシミュレーションデータの扱いにおいて実績のあるTOOLの技術をLVIEWに取り入れる事により、これらの問題を解決しました。

LuminescentのComputational Lithography and Inspection Technologiesのシニアバイスプレジデント、Dr. Linyong (Leo) Pangは次のように述べています。「世界の半導体市場に認められ、実績のあるTOOLのレイアウト表示技術は、我々の要求を充分に満たすものです。」

TOOLの代表取締役社長、本垰秀昭は次のように述べています。「このたびのLuminescentとの協業により、世界規模で活躍され業界を主導するカスタマーに対するCLIソリューションの提供に貢献できることを大変嬉しく思います。LuminescentのプラットフォームにTOOLの技術を統合したことにより、我々の製品の柔軟性と価値をパートナーやお客様に示すことができました。」

Computational Lithography and Inspection (CLI)について

コンピュテーショナルリソグラフィ（コンピュテーショナルスケーリング）は、集積回路のクリティカルレイヤを通過する光の解像度を、数学モデルに基づいて改善するための技術です。これは、光学リソグラフィ技術を更に数世代先まで適用するにあたり、もっとも実現性が高くかつ経済的なアプローチです。また、コンピュテーショナルインスペクションは、数学的モデルを利用してシリコン上のパターンエラーをシミュレーションしながら、フォトマスクの欠陥をフィルタリングする、コンピュテーショナルリソグラフィを補完するものとして欠かすことができない検査技術です。LuminescentによるCLIの製品化は、半導体業界の歴史上初めて、ムーアの法則がハードウエア中心のリソグラフィ技術の進歩ではなくソフトウエアの革新によって実現できることを意味しています。

Inverse ExplorerとInverse Synthesizerは、ソフトウエアとハードウエアが統合されたプラットフォームです。これらのソフトウエアアルゴリズムは、高速の光学モデルやレジストモデルそして高度な幾何学変換ルーチンを有し、Luminescentの強力なInverse Lithography Technology（ILT）と結合しています。また、ハードウエアプラットフォームには最先端の汎用HPCサーバを用いているため、標準のデータ入出力フォーマットを使用し、design-to-siliconフローの一部を統合することが可能です。

Luminescent Technologies について

Luminescent Technologiesは、コンピュテーショナルリソグラフィおよび検査用ソリューションを半導体業界に提供しています。ベンチャー・キャピタルの資金支援を受ける株式非公開の新興企業で、カリフォルニア州パロアルトを拠点としています。Luminescent についての詳しい情報は、http://www.luminescent.com をご覧ください。

TOOLについて

TOOL社は、EDAツールの開発を中心に取り組む日本のソフトウエア開発会社です。特にレイアウト設計フェーズ以降では、自社開発ツール「LAVIS」や「MaskStudio」を代表に多くの実績を積んでいます。当分野での豊富な経験から開発されたパッケージソフトウェアとカスタムソフトウェア開発技術との融合により、お客様の問題解決に的確なソリューションを提供いたします。会社および製品の詳しい情報については、http://www.tool.co.jp/ をご覧ください。